潽拓——{精}，分子泵

 广州潽拓光电——二手TURBOVAC450 i/iX 莱宝真空泵半磁浮分子泵维修保养

        Leybold turbovac 450i/iX 分子泵莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空，具有操作简单，可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后，可以实现低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功应用于许多场合。工作原理涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

         莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空，具有操作简单，可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后，可以实现低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——{精}，分子泵

广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

潽拓——爱德华真空机械泵，分子泵

Edwards MAG W 2200 iPL 真空泵磁悬浮分子泵

     Leybold莱宝MAGW2000真空设备泵维修，德国莱宝MAG W 2000C磁悬浮分子泵保养，Oerlikon MAG W 2000CT 磁悬浮分子泵耐腐蚀适用于所有半导体工艺，如蚀刻，CVD，PVD等，Oerlikon MAG W 2000CT莱宝磁悬浮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F/DN250CF，抽速可达到1650 L/s /1760L/s，转速为28800rpm